密封性
真空泵用油需要具有适合的粘度：在低温下能使真空泵疾速启动、在高温下泵油能具有良好的密封性、在泵内泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分降低运用过程中真空泵的返油率。
饱和蒸汽压
饱和蒸汽压是真空泵用油的关键的指标之一。在恒温的密闭容器中当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。油品的饱和蒸汽压要尽量低，在泵的高工作温度下仍要具有足够低的饱和蒸汽压并要低于真空泵规则的极限压强。
极限全压力和极限分压力
极限全压力是指由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质(气体)产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大泵油中含有的挥发成分就越多，随之真空泵用油的性质就越差。
光滑性
摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等都与光滑条件有关。表现佳的真空泵用油有利于抑止腐蚀磨损、能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损、流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用也可减轻磨擦磨损、降低摩擦阻力以节约能源、减少磨损以延长机械寿命。
耐热安定性
真空泵用油的耐热安定性表示油品的耐高温才能。也就是光滑油对热合成的抵御才能即热合成温度。一些苛刻的真空运用环境都会对真空泵用油提出热安定性的请求。自然矿物油均有其不可防止的缺陷。耐热性能要比合成油差。成份随热氧化合成极易劣化。极限压力稳定性差、抽速也随运用时间降落。
抗乳化性
真空泵换油要注意油的抗乳化性。真空泵在运转过程中系统内的水分与冷气领会排入泵油中、假如抗乳化性不好它将与混入的水构成乳化液、使水不易从循环油箱的底部放出从而可能形成真空度降落和光滑不良。